Российские инженеры разработали микропереключатели для защищенных сетей 5G

Устройство подойдет для создания защищенных сетей 5G, применения в аэрокосмической и телекоммуникационной отраслях.

Инженеры Дизайн-центра микроэлектронной компонентной базы для систем искусственного интеллекта и Передовой инженерной школы ЮФУ «Инженерия киберплатформ» представили экспериментальные образцы однополюсных однонаправленных радиочастотных микроэлектромеханических (МЭМС) переключателей. МЭМС переключатели — это компактные устройства с низким электропотреблением.

Инженеры используют выжигание фоторезиста в кислородной плазме, чтобы удалить жертвенный слой фоторезиста из-под подвижного электрода РЧ МЭМС-переключателя. В отличие от зарубежных аналогов предложенная технология использует один этап нанесения слоя. Это исключает применение селективных травителей и позволяет избежать залипания подвижных элементов в переключателях, что ранее наблюдалось при других технологических процессах изготовления подобных устройств.

Результаты исследования позволяют создать современную электронную компонентную базу на основе радиочастотных МЭМС технологий, считают авторы исследования. Они отмечают, что на российском рынке до сих пор не было аналогичных устройств. Их можно применять для создания радиолокационных систем, радиотехнического оборудования аэрокосмического и телекоммуникационного назначения.